第1節 精密塗布法による薄膜化技術
[1]化学溶液法によるコーティングと大面積化、厚膜化技術
1. 化学溶液法とは
2. 化学溶液法における塗布工程
3. 化学溶液法における塗布後の乾燥・焼成工程
4. 化学溶液法で作製したセラミックス薄膜の例
[2]超高精度塗工技術と薄膜化の動向
1. テーブルコータRの特長・基本仕様
2. テーブルコータRの概要
(1) 装置の基本構成
3. 装置の動作
4. スロットダイの塗工方式分類と塗工理論
(1) コーティング理論と塗工条件の決定
(2) 塗工方式の分類比較
5. テーブルコータRU(FLOLIAR)
(1) FLOLIARとは
(2) FLOLIARの特長.仕様
6. FLOLIAR3000 COATER SYSTEM
(1) FLOLIAR3000 COATER SYSTEMとは
(2) FLOLIAR3000 COATER SYSTEMの特長
7. 薄膜化の動向及び将来性
[3]グラビアコーターによる機能性フイルムの精密塗布と薄膜化技術
[4]SiO2ナノ微粒子のスピンコート技術
1. スピンコートによるSiO2ナノ微粒子の配列方法
2. 層数制御
3. 粒径制御
4. 厚膜化
5. SiO2ナノ微粒子をマスクに用いたシリコンのエッチング
6. 応用例 〜SiO2ナノ微粒子をマスクに用いたサブ波長反射防止構造の製作〜
6.1 反射防止の原理
6.2 製作
6.3 光学特性
[5]薄膜の光学特性の測定・評価
1. スピンコーテイング法によって成膜した光学薄膜の主なる用途と成膜方法の特徴
2.光学薄膜に要求される性能
3.光学薄膜の評価方法
3.1 屈折率特性
3.2 透過率(損失)特性
3.3 膜質特性
3.4 応力特性
3.5 耐レーザー特性
4. スピンコーテイング法によって成膜したポリマ薄膜およびその光学特性
4.1 シリコーン添加ポリシラン薄膜の特性
4.2 シリコーンにニトロン化合物を添加したポリマ薄膜の特性
5. スピンコーテイング法による光学薄膜の技術課題
[6] 静電塗布法を用いたナノ構造体の形成技術
1. 静電塗布法の原理
2. 微細な構造を有する有機薄膜の形成
3. ファイバー構造の形成
[7] 塗布光照射法による機能性酸化物薄膜の低温成長
1.有機金属化合物を用いた塗布光照射法
1.1 エキシマレーザーによる多結晶薄膜の作製
1.2 エピタキシャル膜
1.3 ガラス基板上への配向膜の作製
1.4 エキシマランプによる結晶成長
2. ナノ粒子光反応法
2.1 エキシマレーザーを用いたナノ粒子光反応法
2.2 エキシマランプを用いたナノ粒子光反応法
[8]微細塗布技術と塗布品位の改善
1. 微細塗布技術
2. 微細塗布装置の構造
3. フラットパネル用カラーフィルタ修正への適用事例
[9] 塗工液のレオロジーと塗布性について
1. レベリングとたれ
2. セラミックスラリー成膜性と動的粘弾性
3. 法線応力効果と塗布性
4. 昇温硬化過程の粘度挙動
[10]ムラ・コーヒーステイン防止に向けた液中微粒子の挙動解析と制御技術
1. コーヒーステイン現象のDeeganらによる解析
2. マランゴニ効果
3. マランゴニ効果利用によるコーヒーステイン現象の抑制
4. ピンニング抑制によるコーヒーステイン現象の抑制
[11] カーボンナノチューブの液中分散における留意点
1. CNTの分散はなぜ難しいか
1.1 CNTの表面物性の問題
1.2 CNTの形状の問題
2. 有効な分散剤吸着層とは
3. CNT分散液の特異性
3.1 CNT分散液中の粒子径
3.2 CNT分散液の濾過性
3.3 CNT分散液の粘度
[12]最適な塗工液を得るためのナノ粒子の表面技術
1. シリカゾルの従来応用分野と一般的物性
1.1 ナノ粒子内発的機能
1.2 大きさに起因する特性と機能
1.3 形状に起因する特性と機能
1.4 バルクに起因する特性と機能
2. 新規分野で必要とされるシリカゾルの役割
2.1 ナノ粒子の特性と応用
2.2 表面修飾ナノ粒子機能
3. 必要とされる役割と表面処理の重要性と制御因子
3.1 表面処理の重要性と制御因子
4. 具体的新規分野での応用例
4.1 ナノ粒子配列機能
4.2 ナノ粒子修飾機能
5. 今後の開発方向
[13]塗膜におけるぬれ性評価技術 〜接触角測定と表面張力測定〜
1. ぬれと接触角
2. 表面張力
2.1 表面張力
2.2 固体の表面張力
2.3 界面張力
3. 接触角と表面張力との関係
4. ぬれの評価技術
4.1 接触角の評価方法
4.1.1 静的接触角と動的接触角
4.1.2 接触角算出の基本的な考え方
4.2 表面張力の評価方法
4.2.1 静的表面張力と動的表面張力
4.2.2 液体の表面張力測定法
4.2.3 固体の表面張力(表面自由エネルギー)測定法
[14]ウェットプロセスによる薄膜形成法と微細パターン化技術
1. 乾燥収縮機構
2. セラミックス乾燥特性
2.1 熱風乾燥
2.2 乾燥特性に与える加熱方式の影響
2.3 マイクロ波乾燥による乾燥促進効果
3. 縮重合反応を伴う樹脂薄膜の乾燥
3.1 塗膜の乾燥特性
3.2 塗膜の縮重合特性と発泡
3.3 塗膜内部応力生成機構
[15]塗布膜乾燥プロセスにおける膜厚制御のポイント
1. 減圧乾燥時の塗布液膜の乾燥の物理
2. 平坦な基板上に塗布された溶液膜の減圧乾燥プロセスのモデル
3. 乾燥プロセス中の乾燥条件の制御
[16]電場ピックアップ法の開発と塗膜の乾燥評価
1. 電場ピックアップ法
1.1 装置と原理
1.2 粘度測定
1.3 表面張力測定
2. 高分子溶液の乾燥課程の評価
第2節 ゾル―ゲル法による薄膜化技術
[17]ゾルーゲル法による製膜のポイントおよび評価
1. ゾルーゲル法の概略
2. 薄膜コートゾルの調製法
2.2 複合ゾルの調整
3. 製膜法
4. コート膜の評価
4.1 膜厚
4.2 密着性
4.3 硬度
[18]ゾル−ゲル法による薄膜化技術
1.ゾル−ゲル法の基礎
1.1 ゾル−ゲル法の基本的な工程
1.2 ゾル−ゲル法の適用範囲
1.3 薄膜形成用塗布液の形成
1.4 ゾル−ゲル液を用いた成膜手法
2.ゾル−ゲル法を用いた機能性薄膜の作成
2.1 光学薄膜の形成
2.2 誘電体膜の形成
2.3 光触媒膜の形成
2.4 透明導電膜の形成
[19]超低速ゾルーゲルディップコーティングの現状と課題
1. ゾル−ゲルディップコーティングプロセスの概要
1.1 コーティング液の作製
1.2 ディップコーティング
1.3 ゲル膜の焼成
2. 超低速ゾル−ゲルディップコーティングについて
3. 超低速ゾル−ゲルディップコーティングの課題
3.1 亀裂発生の問題
3.2 凹凸形成の問題
3.3 再現性の問題
4. 超低速ゾル−ゲルディップコーティングにおけるトピックス
4.1 自己組織化による薄膜表面のパターニング
4.2 金属塩水溶液をコーティング液とする
ゾル−ゲルディップコーティング
[20] 無機−有機ハイブリッド膜を用いたマイクロナノパターニングプロセス
1. 無機−有機ハイブリッド膜
2. 無機−有機ハイブリッド膜を用いたマイクロナノパターニングプロセス
3. ホログラム記録材料への応用
[21] 水系ゾルを用いたゾルゲル法によるセラミックス薄膜の作製
1. 水系ゾルの調製法
1.1 有機配位子を用いた水系ゾルの調製
1.2 層状チタン酸塩ナノ結晶のコロイド水溶液の調製
1.3 水系ゾルのコーティング薄膜
2. 層状チタン酸塩コロイド水溶液を用いて作製したアナターゼの種々のナノ構造
2.1 アナターゼコロイド水溶液
2.2 星型アナターゼナノ結晶集合体
2.3 ナノスケールの凹凸構造をもつ薄膜
2.4 金属酸塩ナノシート
3. 層状チタン酸塩コロイド水溶液の調製法の他の金属酸塩への応用
[22] ゾル−ゲル法によるプラスチックスへのセラミック薄膜の成膜技術
1. プラスチックス表面にセラミック薄膜を作製するための既存技術
2. ゾル−ゲル焼成膜をプラスチックス表面に転写する技術
2.1 工程の概略
2.2 接着剤を使用した転写
2.3 プラスチック基板表面の溶融による転写
2.4 セラミック膜のパターニング
[23]ゾル−ゲル法の基礎と強誘電体薄膜への応用
1. 前駆体ゾルの分子設計
1.1 ケイ酸塩系
1.2 非ケイ酸塩系
2. 強誘電体薄膜への応用
2.1 アルコキシドの分子設計による導電性酸化物薄膜のナノ構造制御
2.2 ハイブリッドインテグレーションによるSi基板上への高性能PZT薄膜の作成
[24]有機−無機ハイブリッド材料の調製と透明性、耐熱性の制御技術
1. 有機−無機ハイブリッドの合成と構造制御
1.1 ゾル−ゲル反応によるシリカ系ハイブリッドの合成
1.2 層状剥離粘土を用いたクレイ系ハイブリッドの合成
2. 有機−無機ハイブリッドの透明性と耐熱性の制御
2.1 透明性制御
2.2 耐熱性制御
[25]ゾル-ゲル法による光学薄膜の作製とその応用
1. ゾル−ゲル法によるMgF2およびMgF2-SiO2膜の作製方法
2. 低屈折率MgF2膜およびMgF2-SiO2膜の作製と評価
2.1 高温高圧処理によるMgF2ナノ粒子の変化
2.2 高温高圧処理による分散媒の変化
2.3 膜厚および屈折率の制御
2.4 反射防止性能の評価
[26]ゾル-ゲル法によるフォトニックガラスの作製と応用展開
1. フォトクロミック薄膜
2. エレクトロミック薄膜
3. 平面光導波路への展開
第3節 インクジェット法による薄膜化技術
[27]プリンテッドエレクトロニクスへのインクジェット印刷技術の展開と薄膜化技術
1. インクジェット方式別特徴
1.1 インクジェット方式の分類
1.2 プリントヘッドに要求される性能
1.3 ピエゾ各方式の特徴
2. インクジェット方式の特徴と利点
3. 今後の課題
[28] プリンテッドエレクトロニクスへのインクジェット印刷技術の展開と薄膜化技術
[29] インクジェット法によるフッ素系パターン化基板を用いた超微細薄膜作製技術
1. パターン基板の作製
2. 高分子薄膜の位置選択的製膜
2.1 インクの表面張力の効果
3. 高分子薄膜の位置選択的製膜
3.1 インクの表面張力の効果
4. 金属ナノインクによる超微細金属配線
[30] 水素ラジカルを用いた還元法によるインクジェット銅配線の実現
1. HW法による水素ラジカルの生成
2. 水素ラジカルによるインクジェット銅配線の形成
[31] 静電式インクジェットによるサブミクロン描画法
1. 静電式インクジェットの装置構成
2. 液滴の吐出挙動
2.1 電圧波形の影響
2.2 ニードル型ノズル
2.3 キャピラリー型ノズル
3. ニードル型ノズルとキャピラリー型ノズルとの特性比較
3.1 テーラーコーンの形成時間および液滴の吐出時間の分布
3.2 印加電圧の周波数の影響
3.3 描画特性
4. ニードル型インクジェットノズルによるサブミクロン描画
[32] インクジェット液滴の着滴後の濡れや乾燥過程の解析
1. インクジェット成膜プロセス
2. インクジェット着滴観察装置&局所接触角計DropMeasure-1000
2.1 製品概要
2.2 特徴
2.3 用途
2.4 観察例
3. InkJetレンタルラボのご紹介
第4節 電解メッキ/無電解メッキによる薄膜形成技術
[33] めっきプロセスによる金属-ナノ粒子複合薄膜の形成
1. めっき膜中へのナノサイズ粒子の複合化の考え方
2. ナノ粒子のめっき膜中への取り込み機構
3. めっきプロセスにより作製された金属-ナノ粒子複合薄膜の用途
[34] 粉体へのめっき技術とその均一化
1. 粉体表面への無電解めっき
2. 無電解めっきと放電焼結法を利用した難焼結材料の開発
2.1 使用粉末への無電解めっき処理の適用理由
2.2 難焼結性を示す粉末への無電解めっき
2.3 無電解NiめっきWC粉末の放電焼結特性
2.4 無電解NiめっきWC焼結体の特性評価
2.5 無電解NiめっきAl2O3粉末の放電焼結結
[35] 電気銅めっきにおける空孔発生とその制御
1.結晶成長と空孔発生の例
2.溝埋め込みにおける空孔発生
3.ビアホール充填における空孔発生とその制御
[36]チップ部品の電極部への選択的無電解めっき析出の検討
1.実験方法
1.1 本研究に用いたチップ部品とめっき膜
1.2 本研究に用いた基本的なプロセス
2. 結果及び考察
2.1 触媒化条件の検討
2.2 その他のめっき条件の検討
2.3 Electron Probe Micro-Analyzer (EPMA)測定
2.4 X-rayPhotoelectron Spectrometry (XPS)測定
2.5 無電解Ni−Pめっき膜の高速化の検討
2.6 無電解Ni−Pめっき膜の
テープ剥離試験結果と無電解銅めっき結果
[37]エレクトロニクス分野における微小めっき技術
1. ULSI銅微細配線の変遷
2. 銅めっきプロセス
3. 銅めっき浴の添加剤
4. TSV(Through Silicon Via)めっきの高速化と微細化対応
[38] ハイブリッド層を利用したポリマーフィルムの無電解めっき
1. ポリマー表面での無電解めっきによる電子回路形成
2. 光リソグラフィーによるハイブリッド薄膜のネガパターン形成とその無電解めっきによる金属マイクロパターンの形成
3. 熱処理によるハイブリッド層の形成とその無電解銅めっき
4. シリカナノ粒子によるめっき皮膜の密着性向上
[39]医療用デバイスとめっきによる高機能化
1.磁気を利用した細胞チップ(ハイブリッド磁気チップ)
1.1 細胞チップ
1.2 磁気スポットの形成
1.3 マイクロウェルの形成
2. 抗原特異的抗体産生細胞のスクリーニング
3. ハイブリッド磁気チップでの細胞捕獲
[40]エレクトロニクス分野におけるめっき薄膜の評価
1.1 めっき膜形成方法および組成評価と拡散評価
1.2 めっき膜の内部応力
1.3 めっき膜の結晶構造評価
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