【本講座で学べること】
・PFASの特性および用途などの基本的事項
・POPs規則の動向
・欧米日のPFAS規制および最新の動き
・各規制においての半導体産業に関わる情報
・PFAS規制の企業への影響の紹介

【講座概要】
有機フッ素化合物（PFAS）の規制の動きが活発化してきました。必須な物質を使用している半導体業界にとって、今後大きな影響を及ぼす可能性があり、規制動向は見過ごせません。そこで、本セミナーでは、PFASに関しての基本事項をおさらいした後、知っておくべき規制動向として、半導体産業関連の情報も盛り込み、ストックホルム条約（POPs条約）そして、欧米日の最新の状況までを解説いたします。また、PFAS規制の企業への影響についても紹介いたします。

１．PFAS概要
　性質および用途、主要な規制の定義

２．POPs規則の中のPFAS規制
　現在までのリスト収載物質および今後の動向

３．欧州のPFAS規制
　3.1 EU POPs規則
　3.2 REACH規則
　　3.2.1 SVHCに関わるPFAS
　　3.2.2 制限規則に関わるPFAS
　　・進行中の制限提案
　　・ユニバーサル（広範な）PFAS制限提案について（半導体産業の情報含めて）
　　　提案内容および提案後の状況- コンサルテーション、執行フォーラムの助言、科学委員会の評価状況

４．米国におけるPFAS規制
　4.1 TSCA規制の中のPFAS規則
　　4.1.1 重要新規利用規則
　　4.1.2 PFAS報告義務
　　4.1.3 半導体産業に関わる情報
　4.2 各州のPFAS規制状況　州の規制状況の概要、メイン州、ミネソタ州など

５．日本におけるPFAS規制
　化審法の動き

６．企業への強制措置の事例紹介

７．（参考）PFAS対応に関する企業の事例の概要紹介

【質疑応答】

【本講座で学べること】
・半導体の技術、市場トレンドとPFAS規制の関係
・PFAS類が用いられている半導体工程
・半導体製造におけるPFAS類処理方法の現状
・半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況

【講座概要】
近年、ますます規制の動きが活発なPFASは、撥水性、耐熱性、安定性などの特徴から様々な用途に用いられており、半導体デバイスの製造にも欠かせないものとなっている。デバイス構造の複雑化・三次元化実現にPFASの果たす役割がますます重要となっている中で、PFASの規制の拡大や、3M社によるPFAS製品の生産中止発表などは、半導体産業にとっては非常に影響が大きなものとなっている。本セミナーでは、半導体の製造工程の概略、およびその中でPFASが用いられている工程について解説し、その処理方法の現状についても述べる。さらに半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体材料メーカーの対応について、現状と今後の動きについて述べる。

１．半導体の市場及び技術トレンド
　1.1 成長を続ける半導体市場
　1.2 半導体の製造方法
　1.2 限界に近づくムーアの法則
　1.3 半導体製造におけるPFAS類の役割

２．PFAS類が用いられる半導体製造工程
　2.1 前工程
　　・リソグラフィー
　　・ウエットエッチング
　　・ドライエッチング
　　・配管、バルブ等
　2.2 後工程
　　・モールド材
　　・ダイアタッチ材
　　・パッケージ基板層間膜

３．半導体製造工場におけるPFAS類処理方法の現状
　3.1 製品ライフサイクルと環境人体への影響
　3.2 製造段階の影響
　3.3 使用段階の影響
　3.4 廃棄段階の影響

４．現状及び今後の対応方法
　4.1 REACH規則への対応
　4.2 リスクとチャンス

５．まとめ

【質疑応答】