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２０２４年１２月４日(水) 　 １２：３０〜１６：３０

【習得できる知識】
　微量水分分析の基礎、微量水分分析の注意点、信頼性の高い微量水分分析法

【講座の趣旨】
　 高純度ガス中の残留水分の微量分析は他成分の微量分析に比べて困難です。なぜ難しいのか、どのようにすれば信頼性の高い分析結果が得られるのかについて、できるだけ分かりやすく解説します

１．微量水分の基礎
　1.1 微量水分とは
　1.2 微量水分分析の必要性
　1.3 微量水分分析の難しさ
　1.4 微量水分分析の問題点

２．微量水分の分析器
　2.1 鏡面冷却式露点計
　2.2 静電容量式センサー
　2.3 五酸化リン式水分計
　2.4 水晶発振式水分計
　2.5 APIMS
　2.6 TDLAS
　2.7 CRDS
　2.8 検量線の要否

３．微量水分の計測標準
　3.1 計測標準とは
　3.2 測定の不確かさ
　3.3 微量水分標準

４．計測結果の信頼性
　4.1 各種分析器の性能評価例
　4.2 信頼性の高い微量水分分析のために

【質疑応答】

【習得できる知識】
　レオロジーの基礎と実測定の概要。安定した測定でキレイなデータを得るコツ。

１．ガスの用途および金属不純物汚染
　1.1 ガスの種類および用途
　1.2 金属不純物の汚染形態および汚染源

２．ガス中の金属汚染分析方法
　2.1 溶液捕集法
　2.2 フィルター捕集法
　2.3 ダミーウェーハ法
　　2.3.1 全反射蛍光X線（TRXRF）分析法
　　2.3.2 気相分解（VPD）-TRXRF法
　　2.3.3 気相分解（VPD）-ICP-MS法
　　2,3,4 レーザーアブレーション（LA） -GED-MSAG-ICP-MS法
　2.4　直接分析法
　　2.4.1 ガス交換器（GED）-ICP-MS法
　　2.4.2 直接ICP-MS導入法

【質疑応答】