第１節 ウォータージェットによるガラス微細加工技術
１．加工原理
２．マイクロ溝加工特性
３．マイクロ加工機
４．マイクロファブリケーション加工事例
４−１ 斜方格子溝によるマイクロアスペリティ
４−２ 交差溝によるマイクロディンプル加工
第２節 固定砥粒研磨法によるガラス・高機能材料の研磨技術
１．固定砥粒研磨と遊離砥粒研磨の特徴比較
２．固定砥粒研磨法開発の流れとニーズ
３．研磨用砥石の開発動向
３−１ 運動転写方式研削加工法からのアプローチ
３−２ 圧力転写方式研磨法からのアプローチ
４．ガラス材料に対する固定砥粒研磨事例
５．メカノケミカル砥石によるシリコンウェハ研磨事例
第３節 揺動速度制御による石英ガラスの研磨技術
１．石英ガラスの基本研磨特性
２．円形石英ガラスの研磨
２−１ 揺動停止時の研磨形状
２−１−１ 回転速度による影響
２−１−２ 工具位置による影響
２−２ 等速揺動による形状修正
２−３ 揺動速度制御による形状修正
３．正方形石英ガラスの研磨
３−１ 正方形試料における実験とシミュレーションの整合性
３−１−１ 揺動停止時の正方形研磨形状
３−１−２ 等速揺動時の正方形研磨形状
３−２ 正方形ガラスの研磨シミュレーショ ン
３−２−１ 円形経路の研磨形状
３−２−２ 正方形経路の研磨形状
３−２−３ 糸巻形経路の研磨形状
第４節 ＭＲＦ(磁気粘弾性研磨)の研磨メカニズムと面形状・表面粗さの高精度化
１．ＭＲＦの原理
１−１ 単位時間当たり研磨率
１−２ データの解析とＮＣプログラム
１−３ 研磨メカニズム
１−４ ＭＲ研磨液
１−５ ＭＲＦ研磨装置
２．ＭＲＦ技術の利点
２−１ 安定した研磨レート
２−２ 超高精度な位置決め精度が不要
２−３ 表面粗さの改善
２−４ エッジダレの軽減
３．ＭＲＦによる研磨実績の紹介
３−１ 高精度球面レンズ
３−２ 高精度非球面レンズ
３−３ ラスター研磨
３−４ 生産性
第５節 複合粒子研磨法によるガラス研磨
１．複合粒子研磨法とその特徴
１−１ 複合粒子研磨法の基本概念と実施条件
１−２ 主な特徴と影響因子
１−２−１ 特徴
１−２−２ 影響因子
１−２−３ 展開
２．ガラスの平面研磨
２−１ ガラス研磨の可能性
２−１−１ ポリマ微粒子の最適添加率と研磨能率の向上
２−１−２ ガラス材質による研磨能率の比較
２−２ ガラス研磨縁形状精度の向上
３．ガラスの球面研磨
第６節 電場を援用したガラスの高精密研磨・洗浄複合技術
１．電場を援用したガラスの高精密研磨・洗浄複合技術
２．電場を援用した平面研磨における砥粒の移動速度の基礎特性
３．電場を援用した平面研磨における研磨特性
３−１ 粒子分散型流体の作製
３−２ 砥粒の移動速度測定装置及び測定条件
３−３ 砥粒の最大速度及び最大振幅と入力波形・周波数及び電場強度の関係
３−３−１ 入力波形による影響
３−３−２ 周波数による影響
３−３−３ 電場強度による影響
４．研磨メカニズムの検討
４−１ 粒子分散型流体の作製
４−２ 研磨装置及びガラス試験片
４−３ 研磨時間に伴うガラス平板の研磨面観察結果
４−４ 電極上特定位置における研磨量の比較
５．研磨メカニズムの検討
第７節 結晶化ガラス基板の材料特性及び超平滑平面加工技術
１．結晶化ガラス基板の材料特性
１−１ 結晶化ガラスの特徴
１−２ 結晶化ガラスの種類
１−３ 精密膨張測定技術
２．超平滑平面加工技術
２−１ 結晶化ガラスの加工工程概要
２−２ 粗研磨加工工程
２−３ 仕上げ研磨加工工程
２−４ 最終仕上げ研磨加工工程
第８節 大型ガラス基板の研磨加工技術
１．研磨の必要性
２．研磨加工技術
３．研磨装置の概要
第９節 光学・電子・磁気デバイス用ガラスの精密加工技術
１．脆性材料と延性材料
２．脆性材料と研削
３．ガラスの延性モード発現のその場観察
４．脆性材料の延性モード研削
５．ガラスの延性モード研削加工装置
第１０節 ガラス非球面レンズの研削・研磨加工技術と量産化
１．非球面レンズの製造方法
２．非球面切削加工（非球面整形）
３．ダイヤペレットによる研削加工
４．最終研磨加工
５．非球面レンズの測定方法
６．小径非球面レンズの製造
７．単結晶シリコン非球面レンズの製造
８．技術の高度化と今後の方向性
第１１節 環境対応と精密加工を可能にする研削液ノズル
１．環境対応研削加工の背景
２．研削加工環境対策の問題点とPノズル
３．現状の研削液注水ノズルの問題点
４．Ｐノズルとは？
５．研削液付着状態
６．Ｐノズルの開発方向
７．研削実験例
第１２節 ガラスのクラックフリー研削加工
１．光学ガラスの脆性破壊と塑性変形
１−１ 単粒切れ刃による円弧切削
１−２ 延性・脆性臨界切込み深さ
１−３ 塑性変形挙動
２．光学ガラスのクラックフリー研削
２−１ 良好な研削仕上げ面を得るための基本的考え方
２−２ 切れ刃を整列した粗粒ホイールによる研削機構の理論的考察
２−３ 砥粒切れ刃の整列方法
２−４ クラックフリー研削
第１３節 ガラスの微細塑性加工技術
１．微細塑性加工装置
２．ガラスへの押込み加工例
３．臨界加工深さ
４．押込み痕深さと押込み荷重
第１４節 ガラスハードディスクメディアの表面評価
１．光の干渉とは？
２．オプティカルプロファイラー
２−１ 測定原理
２−１−１ 位相シフト干渉方式
２−１−２ 垂直走査型干渉方式
２−２ 装置
３．レーザー干渉計
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第２章 ガラス研磨剤・研磨スラリーの特性と研磨への適応 |
第１節 ガラス研磨剤・研磨スラリーとその応用について
１．研磨テープとスラリー
１−１ 特徴と用途
１−２ 研磨材の種類と用途
１−３ 研磨材の形状
２．ガラス材料の加工事例
２−１ 磁気ガラスディスクの表面加工
２−１−１ 磁気ガラスディスク表面におけるオングストローム単位の加工
２−１−２ 垂直磁気記録方式向け加工
２−２ ＬＣＤガラスパネルの表面クリーニング加工
２−２−１ パネルクリーニングの必要性
２−３ 光ファイバコネクタ単面の加工
２−３−１ 光ファイバコネクタ端面の研磨加工必要性
２−３−２ 光ファイバコネクタ端面の加工事例
２−３−３ 多芯ＭＴ−ＲＪコネクタの単面加工事例
第２節 ナノダイヤモンドの特性と研磨技術への適応
１．背景
１−１ なぜナノでなければならないか？
１−２ なぜ開発が遅れたか？
２．発見
２−１ 第一発見者はDanilenko
２−２ 長い停滞
３．製造
３−１ ブレークスルー
３−２ 量産化
４．性質
５．用途
５−１ 考え方
５−２ 組成物強化成分
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第１節 ガラスのエンドミル加工における延性・脆性複合モード切削
１．加工原理
２．加工試験
３．加工特性
第２節 マイクロエンドミルによるガラスの切削加工
１．ガラス加工における切削メカニズム
２．切削特性
３．ガラスのマイクロエンドミル加工の応用
４．ガラスのマイクロ切削加工機
第３節 近赤外線レーザを使用した高品質ガラス分断加工
１．クラックレスのガラス分断
１−１ 切断品質と切断後のガラス強度
２．近赤外線レーザを使用したガラス切断
２−１ ガラスの近赤外光レーザ透過率
２−２ ＭＬＢＡプロセス
２−３ Ｙｂ：ＹＡＧディスクレーザ
２−４ ガラスの分断面の品質
３．ガラスの機能分断
３−１ スタックガラスの同時分断及び選択分断
３−２ 自由曲線分断
３−３ ガラスチューブの切断
４．ガラス特性
４−１ ガラス内部のストレス
４−２ ガラスの自重によるストレス
４−３ 熱処理されたガラス
４−４ コーティングされたガラス
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第１節 フェトム秒レーザーを用いたガラス加工
１．フェムト秒レーザー加工の特徴
１−１ 多光子吸収
１−２ 内部改質
１−３ ナノ加工
２．フェムト秒レーザー加工の実施例
２−１ アブレーション加工
２−２ 内部改質による屈折率制御
２−３ ボイド形成
２−４ ３次元中空マイクロ構造作製
２−５ マイクロ中空構造と光導波路の集積化
第２節 ホログラフィックフェムト秒レーザーによるガラス加工
１．並列レーザー加工の種類
２．並列フェムト秒レーザー加工の必要性
３．ホログラフィックフェムト秒レーザー加工の光学配置
４．フーリエホログラムを用いた加工光学系
５．フーリエホログラムを用いたガラスの加工
５−１ ＬＣＳＬＭの空間応答特性を含むＯＲＡ法によるＣＧＨの設計
５−２ ガラスの加工
５−３ ２次元並列加工
５−４ 焦点距離を変化させることによる３次元加工
５−５ ３次元一括加工
第３節 ＹＡＧレーザー照射によるガラスの形態制御技術
１．レーザー誘起局所加熱による構造変化
２．光非線形性結晶ラインパターニングと結晶配向
３．分岐状結晶ラインの書き込みと光導波
４．マイクロチャンネル加工
第４節 ＣＯ２レーザによるガラス加工技術
１．ＣＯ２レーザによるガラスの加工
１−１ ＣＯ２レーザと他のレーザによるガラス加工の相違点
１−２ ＣＯ２レーザ加工装置の構成
１−３ ＣＯ２レーザによる石英ガラス基板上に形成した溝形状
１−４ ＣＯ２レーザによる溝形成の問題点
２．ＣＯ２レーザの特徴を利用したガラスの特殊加工
２−１ 石英系ガラス導波路チップの切断
２−２ 石英系ガラス導波路と光ファイバとの融着接続
２−３ 石英系ガラス導波路型光部品の光学特性の補整
３．提案したＣＯ２レーザ加工方法
３−１ 微細加工方法
３−２ 微細加工に適した金属膜の探索
３−３ 石英ガラス基板への加工例
３−４ 石英系ガラス導波路型光部品への応用
第５節 ＵＶレーザによるガラスの３次元加工
１．ＵＶレーザによるガラス加工概要
２．ＵＶレーザによるガラス加工法
２−１ 直接加工法
２−２ マスク法
２−３ ＬＩＰＳＳ(Laser Induced Periodical Surface
Structure)法
２−４ ＬＩＢＷＥ(Laser Induced Backside Wet Etching)法
２−５ ＤＧＴＰＭ(Diffractive Gray Tone Phase Mask)法
２−６ ＬＥＡＳＡＬ(Laser Etching at a Surface Absorbed
Layer)法
２−７ ＬＩＰＡＡ(Laser-Induced Plasma-Assisted Ablation)法
２−８ デュアルビーム法
第６節は著作権の都合上、掲載しておりません
第７節 レーザアブレーション法によるガラス精密微細加工
１．レーザ加工性の評価
２．レーザ加工に適したガラスとは？
２−１ 吸収係数
２−２ 臨界切断結合数
２−３ 結合強度
３．レーザ加工用ガラスの微細加工例
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第１節は著作権の都合上、掲載しておりません
第２節 アクアフロート法による板ガラス成形加工技術
１．アクアフロート法の原理
２．実験と結果
２−１ アクアフロートによる連続成形試験
２−２ 硝子の性状
２−２−１ 表面性状
２−２−２ 硝子表面の組成
２−２−３ ガラス表面の耐久性
第３節 金属ガラスの成形加工技術
１．切削技術
２．鋳造技術
２−１ 金型鋳造法
２−２ アーク溶解鋳造法
２−２−１ 吸引鋳造法
２−２−２ 型締め鋳造法
２−２−３ 傾角鋳造法
２−３ 高圧射出成型法
３．粘性流動加工技術
３−１ 超塑性加工
３−２ 鍛造加工
３−３ ナノインプリント加工
第４節 多段プレス成形によるガラス成形加工の高精度化
１．ガラスの粘弾性特性
２．二段成形の定義
３．ガラス成形装置
４．二段成形実験
５．成形実験結果
６．成形しろによる比較と考察
７．成形速度による比較と考察
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第１節 光学ガラス素子用超精密金型の設計・加工技術
１．非球面レンズ用金型の要件
２．金型材料に求められるもの
３．非球面レンズ金型の研削加工
４．これからの金型技術
４−１ 金型の加工技術
４−２ 金型への成膜技術
第２節 超音波援用研磨によるマイクロ非球面金型の加工技術
１．加工原理
２．超音波援用研磨装置
３．研磨方法
４．研磨特性
４−１ 平面研磨実験
４−２ 非球面形状創成実験
第３節 ＤＬＣ薄膜を用いた金型の離型性・流動性向上
１．ＤＬＣ薄膜の産業応用の現状
２．ＤＬＣ薄膜の一般的物性
３．ＤＬＣの成膜条件
４．耐熱性評価
４−１ 耐熱特性
４−２ 熱伝導率特性と耐熱特性との関係
５．耐摩耗性評価
５−１ 硬度
５−２ Ｓｉ含有量と水素量の関係
５−３ Ｓｉ含有量とＩＧ／ＩＤおよびヤング率の関係
６．ガラスレンズ成形金型への耐熱ＤＬＣの適用効果
７．プラスチック成型用光学レンズ金型
８．樹脂離型性評価
８−１ 樹脂離型の実験方法
８−２ 樹脂離型性評価の実験結果
９．樹脂流動性評価
９−１ 熱伝導率
９−２ 樹脂流動性評価の実験方法
９−３ 樹脂流動性評価の実験結果
第４節 ＰＶＣセラミックスコーティングを用いた金型の表面処理技術
１．ＰＶＤ法によるセラミックスコーティング
２．ＤＬＣコーティング
３．複合表面処理とその応用事例
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第１節 金属ガラスの接合技術
１．金属ガラスの電子ビーム溶接
１−１ 金属ガラス同士の電子ビーム溶接
１−２ 金属ガラスと結晶材料との電子ビーム溶接
２．金属ガラスの摩擦接合
２−１ 金属ガラス同士の摩擦接合
２−２ 金属ガラスと結晶材料との摩擦接合
第２節 ガラス‐シリコンの貫通配線技術
１．ガラス貫通孔配線基板の製作
１−１ サンドブラストによるガラス貫通孔加工
１−２ レーザによるガラス貫通孔加工
２．ガラス貫通孔金属充填技術の開発
２−１ 無電解Ｎｉ(ニッケル)／Ａｕ(金)めっき皮膜形成
２−２ 高温はんだ合金による貫通孔充填
２−３ 低温はんだ合金による貫通孔充填
２−４ ガラス／Ｓｉ低温陽極接合プロセス
２−５ ガラス基板貫通孔はんだ充填構造
３．貫通孔充填量産プロセス
第３節 ＹＡＧレーザを用いたガラス基板の無ひずみ接合方法
１．ガラス材のレーザ透過溶接法の原理
２．実験装置および実験方法
３．白板ガラスの接合
３−１ 接合方法
３−２ 接合部の顕微鏡観察の結果
３−３ 接合部の接合強度
４．基板温度の影響
５．石英部品の接合果
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第１節 ガラスの表面処理技術
１．ガラスの表面特性制御技術
１−１ 実際のガラス表面の状態
１−２ ガラス表面の付着物
１−３ ガラス表面の清浄化
２．薄膜コーティング
２−１ 乾式法(ＰＶＤ)
２−１−１ 蒸着法
２−１−２ スパッタ法
２−２ 乾式法(ＣＶＤ)
２−３ 湿式法
３．表面改質技術
３−１ 化学的処理によるガラスの表面改質
３−２ 物理的処理によるガラスの表面改質
第２節 非熱プラズマを利用したガラスの表面改質
１．接触角の定義
２．ＡＰＮＰＴを使用したガラスの表面処理改質技術
２−１ 実験装置ならびに方法
２−２ 実験結果ならびに考察
２−２−１ 親水化アプローチ
２−２−２ 撥水化アプローチ
３．非熱プラズマアクチュエータによるガラス表面の親水性・撥水性の動的制御
３−１ 非熱プラズマアクチュエータの原理
３−２ スライディング放電プラズマ
第３節 スパッタ法によるガラス基板への成膜技術
１．薄膜の成膜方法
２．マグネトロンスパッタ法
３．ＦＰＤ用途ガラス基板への成膜技術
３−１ スパッタ法によるITO膜成膜技術
３−２ ＩＴＯ膜の要求特性
３−３ 導入酸素量と膜質
３−４ 成膜温度と膜質
３−５ 低電圧スパッタ法
３−６ ターゲット経時変化の緩和
第４節 機能水を用いたガラス洗浄技術
１．水素水洗浄
１−１ 製造方法
１−２ 洗浄データ
１−３ 除去メカニズム
２．オゾン水洗浄
２−１ 製造方法
２−２ 洗浄データ
３．炭酸水洗浄
３−１ 製造方法
３−２ 適用データ
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