1節 フェムト秒レーザ還元直接描写法を用いた導電パターンの印刷技術
1.フェムト秒レーザ還元直接描画法
1.1 CuOナノ粒子溶液の調製
1.2 フェムト秒レーザ描画装置
2.Cu系導電パターンの平面基板上への形成
2.1 描画特性
2.1.1 線幅評価
2.1.2 ガラス基板上描画パターンの評価
2.1.3 シリコーン基板上の描画パターンの評価
2.2 温度センサ作製への応用
2.3 曲面基板上への応用
2.3.1 溶液調製と描画特性
2.3.2 ガラスチューブ上への温度センサ作製
2.4 積層造形による3次元化への展開
2節 レーザ照射と銅錯体を用いた大気中での銅微細配線形成
1.グリオキシル酸銅錯体について
2.錯体膜へのCO2レーザ照射
3.レーザ照射による銅微細配線形成
4.レーザ出力がCu膜の表面状態及び抵抗に及ぼす影響
5.レーザ照射による銅析出メカニズム
6.フレキシブル基板上への銅配線形成及びマイクロコンタクトプリンティングによる銅配線形成
3節 レーザ焼結による樹脂基板への機能性膜形成
1.樹脂基材へのレーザ焼結法
2.熱可塑性樹脂ポリイミドへの銀微細配線
3.熱硬化性樹脂への銅微細パターン形成
3.1 銅マイクロ粒子ペーストの調合
3.2 アンカー効果を発現させるためのレーザアブレーション
3.3 フェライト/エポキシ樹脂への銅厚膜形成
4節 パッド印刷工法による導電パターン形成技術
1.現状の印刷工法
2.パッド印刷の概要
3.パッド材質改良
4.転写の仕組み
5.実例
5節 インプリント法を用いたファインスクリーン印刷技術の開発
1.インプリント法とスクリーン印刷法の融合プロセス
1.1 微小な隙間へのインク充填メカニズム
1.2 インプリント法による微細構造の作製
1.3 微細構造へのスクリーン印刷
2.アライメントフリープロセス
6節 レーザー加工孔版印刷に基づく光ナノインプリント技術によるナノ・マイクロ造形法の開発
1.光ナノインプリントリソグラフィ (UV-NIL) とは
2.レーザー加工孔版印刷による高粘度光硬化性液体の液滴配置
3.Print-and-imprint法
4.レーザー加工孔版印刷による光硬化性液体の位置選択的塗布
5.Print-and-imprint法による金マイクロ電極の作製
7節 スクリーンオフセット印刷工法を用いた3次曲面へのパターン印刷技術
1.凹凸形状への印刷(パッド印刷)
1.1 パッド印刷工法の利点
1.2 パッド印刷工法の弱点
2.3次曲面へのプリンテッドエレクトロニクス
2.1 厚膜・平坦なプロファイル形成
2.2 スクリーンオフセット工法
2.3 スクリーンパッド工法への発展
2.4 スクリーンパッド工法の利点
2.5 スクリーンパッド工法の課題
3.更なる可能性
8節 グラビアオフセット印刷による微細印刷技術
1.グラビアオフセット印刷
1.1 ドクタリング工程
1.2 オフ工程
1.3 セット工程
2.インキ溶媒量の印刷への影響
3.印刷サンプル
9節 ニードル式マイクロディスペンサによる無版描画とその応用
1.ニードル式MDの原理と特徴
2.ニードル式MDのデータ作成
3.テストパターン描画によるナノインクの特性評価法
3.1 評価用パターンの設計
3.2 ガラス基板上へのパターン描画と評価
3.3 微細配線の抵抗率計測用パターン
4.GaN系LEDにおける常圧電極形成プロセス
4.1 Ag電極を有するLEDの評価用パターン
4.2 ニードル式MDによる描画を利用した歩留まり評価
10節 印刷法に基くカンチレバー構造形成技術の開発とMEMSセンサへの応用
1. Lift On-Offset Printing(ループ)法によるカンチレバー構造の形成
1.1 工程の全体概要と従来技術との比較
1.2 前駆構造の形成および硬化
1.3 粘着部の形成
1.4 基板への凸部の形成
1.5 中空構造の転写と粘着部の硬化
1.6 作製した印刷カンチレバーの外観とヤング率
2. ループ法で作製した印刷カンチレバーのセンサ応用
2.1 荷重センサ
2.2 曲げセンサ
11節 付着力コントラスト平版印刷による微細パターニング
1.付着力コントラスト平版印刷の概要
2.付着力コントラストについて
2.1 塗布界面と受理界面
2.2 付着力コントラストと膜厚の関係
3.反転オフセット印刷との比較
12節 電子回路を樹脂製成形品に埋設し配線する技術の開発
1.プリント基板フリー化構造
1.1 耐湿構造
1.2 立体回路構造
1.3 柔軟な樹脂成形品構造
1.4 電子機器のデザイン性向上
2.プリント基板フリー化製造技術
2.1 インクジェットによる回路印刷
2.2 多品種少量、オンデマンド生産
2.3 環境負荷低減
3.技術仕様
3.1 埋設可能電子部品
3.2 印刷回路の電気的仕様(参考)
3.3 長期信頼性
13節 超微細回路を簡便・高速・大面積に印刷できるスーパーナップ法の開発
1.導電性パターン印刷における技術的要求
1.1 アルキルアミン基を用いた山形大学のナノメタルインク
1.2 従来の印刷法でアルキルアミン基銀ナノインクを使用した時の問題
2.スーパーナップ法の開発と特徴
2.1 光照射による反応性表面の確認
2.2 光照射量と反応性
2.3 ブレードコート
2.4 スーパーナップ印刷のメカニズムとその印刷品質
(a) CYTOPのVUV照射特性
(b) スーパーナップのメカニズムモデル
(c) スーパーナップの印刷品質
14節 フィルム基板固定用・真空吸着アシストシートの開発
1.VCASの構造と使用方法
2.VCASの特徴
2.1 基本物性
2.2 印刷性
2.3 帯電防止
2.4 吸着力
2.5 発塵性
2.6 各種吸着方法の特徴比較
15節 スクリーン印刷で形成した銀配線におけるエレクトロケミカルマイグレーションの電気化学インピーダンス評価
1.エレクトロケミカルマイグレーション(ECM)
2.ECMの評価方法
3.電気化学インピーダンス法
4.スクリーン印刷で形成した銀配線のECM評価
|