| 〔執筆者〕（50音順） |
| 秋山 泰伸 |
東海大学 工学部 応用化学科 教授
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| 新井 健太 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所
計量標準総合センター 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ長 |
| 井口 昌司 |
株式会社大阪真空機器製作所 堺工場 技術部顧問 |
| 池田 圭 |
株式会社アテナシス 代表取締役
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| 伊藤 博光 |
アルバックテクノ株式会社 GCS本部 計測センター 製品安全室 主事
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| 伊藤 雅章 |
大亜真空株式会社 技術部 部長 |
| 岩井 秀夫 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 技術開発・共用部門 材料分析ステーション
表面・微小領域分析グループ グループリーダー |
| 岩田 茂樹 |
一般社団法人 東京環境経営研究所 執行理事
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| 上田 良夫 |
大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻 教授
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| 鵜飼 正敏 |
東京農工大学 大学院工学研究院 先端物理工学部門 教授
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| 臼井 博明 |
東京農工大学 大学院工学研究院 有機材料化学部門 教授 |
| 薄井 洋行 |
鳥取大学 大学院工学研究科 化学・生物応用工学専攻 准教授
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| 江利口浩二 |
京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 教授
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| 大石 真也 |
公益財団法人
高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員 |
| 大久保雅隆 |
産業技術総合研究所 |
| 大迫 信治 |
ＶＩＳＴＡ株式会社 代表取締役 |
| 大里 雅昭 |
株式会社荏原製作所 精密・電子磁事業カンパニー 精密機器事業部 環境製品技術部
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| 大西 毅 |
株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 事業戦略本部 本部長付
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| 大村 孝仁 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 構造材料研究拠点 副拠点長 |
| 大山 浩 |
大阪大学 大学院理学研究科 化学専攻 准教授 |
| 小笠原弘道 |
明石工業高等専門学校 講師
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| 岡田美智雄 |
大阪大学 放射線科学基盤機構 教授 |
| 岡野友紀子 |
株式会社岡野製作所 専務取締役
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| 小川 真一 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域
ナノエレクトロニクス研究部門 招聘研究員 |
| 小栗 英知 |
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 J-PARCセンター 加速器ディビジョン 研究主席
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| 長田 利光 |
キヤノンアネルバ株式会社 フィールドソリューション事業部 コンポーネント開発部 部長
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| 長田 容 |
公益財団法人
産業廃棄物処理事業振興財団 技術部長 |
| 小野 慎司 |
明石工業高等専門学校 准教授
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| 小野寺幹男 |
(元)
株式会社アルバック マテリアル事業部 |
| 笠井 秀明 |
明石工業高等専門学校長／大阪大学
名誉教授 |
| 金子 一秋 |
キヤノンアネルバ株式会社 装置事業部 装置開発第二部 部長
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| 神谷潤一郎 |
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 J-PARCセンター 研究主幹
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| 川上 雅人 |
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 TFF開発本部
成膜開発センター エキスパート |
| 川口 雅之 |
大阪電気通信大学 工学部 環境工学科 教授
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| 川﨑 忠寛 |
一般財団法人
ファインセラミックセンター ナノ構造研究所 環境電子顕微鏡グループ主任研究員 |
| 川崎 洋司 |
住友重機械イオンテクノロジー株式会社 愛媛事業所 開発部 プロセスマネージャー |
| 河瀬 元明 |
京都大学 大学院工学研究科 化学工学専攻 教授
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| 川野輪 仁 |
株式会社イオンテクノセンター シニアリサーチャー
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| 神野 晃宏 |
トーカロ株式会社 溶射技術開発研究所 次長 |
| 木ノ切恭治 |
真空テクノサポート 代表 |
| 草野 英二 |
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科 教授
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| 倉橋 光紀 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 先端材料解析研究拠点 表面物性計測グループ 主席研究員
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| 栗巣 普揮 |
山口大学 大学院創成科学研究科 物質工学系専攻 准教授
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| 黒井 隆 |
日新イオン機器株式会社 新事業推進部 テクニカルマーケティンググループ グループ長
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| 黒澤 一 |
樫山工業株式会社 技術本部 第二技術開発部 課長
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| 桑原 真人 |
名古屋大学 未来材料・システム研究所 高度計測技術実践センター 准教授
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| 小池土志夫 |
(元)株式会社アルバック |
| 越川 孝範 |
大阪電気通信大学
名誉教授／重慶大学 客員教授 |
| 後藤 実 |
宇部工業高等専門学校 機械工学科 教授
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| 後藤 康仁 |
京都大学
大学院工学研究科 電子工学専攻 准教授 |
| 小林 信一 |
埼玉大学 名誉教授 |
| 小松 永治 |
神港精機株式会社 装置事業部 真空装置技術部 開発課 課長
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| 小森 彰夫 |
大学共同利用機関法人自然科学研究機構 機構長
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| 近藤 実 |
(元)キヤノンアネルバ株式会社
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| 近藤 行人 |
日本電子株式会社 ＥＭ事業ユニット 技師長 |
| 齊藤 丈靖 |
大阪府立大学 大学院工学研究科 物質・化学系専攻 准教授 |
| 齊藤 芳男 |
東京大学
宇宙線研究所 宇宙基礎物理学研究部門 特任教授 |
| 酒井 滋樹 |
日新イオン機器株式会社 イオンビーム機器事業部 イオンビーム技術開発２グループ グループ長 |
| 坂上 護 |
明石工業高等専門学校 客員教授
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| 榊原 拓也 |
樫山工業株式会社 技術本部 第一技術開発部 課長代理 |
| 阪口 拓也 |
株式会社ＭＯＲＥＳＣＯ 機能材開発部 作動油・真空油グループ
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| 坂口 裕樹 |
鳥取大学 大学院工学研究科 化学・生物応用工学専攻 教 |
| 逆井 章 |
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 核融合エネルギー研究開発部門
那珂核融合研究所 上席研究員 |
| 坂田 卓也 |
一般社団法人 東京環境経営研究所 シニアコンサルタント |
| 桜井 英樹 |
サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー
Solutions for Vacuum Systems Business Unit アプリケーションエンジニア
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| 佐々木優直 |
東京電子株式会社 真空技術部
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| 佐々木正洋 |
筑波大学 数理物理系 教授
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| 塩野入正和 |
三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部 技術開発センター 研究開発室 室長
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| 白藤 立 |
大阪市立大学 大学院工学研究科 電子情報系専攻 教授
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| 末次 祐介 |
大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 教授 |
| 須賀 三雄 |
日本電子株式会社 アプリケーション統括室 兼 経営戦略室 副室長
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| 菅原 康弘 |
大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 教授
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| 杉浦 哲郎 |
株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー 精密機器事業部 精密機器技術部 HD技術課
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| 杉山 正和 |
東京大学 先端科学技術研究センター 教授
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| 杉山 正行 |
キヤノンアネルバ株式会社 フィールドソリューション事業部 コンポーネント開発部
コンポーネント開発第三課 課長 |
| 鈴木 敏生 |
株式会社アルバック 技術開発部 真空要素技術開発部 真空要素技術研究室
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| 鈴木 浩 |
一般社団法人 東京環境経営研究所 シニアコンサルタント
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| 鈴木 基史 |
京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授 |
| 鈴木 雄二 |
東京大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 教授
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| 住森 大地 |
(元)株式会社ナ・デックスプロダクツ
レーザR&Dセンター |
| 瀬木 利夫 |
京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻 講師
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| (故)関口 雅行 |
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 重粒子医科学センター
重粒子線がん治療普及推進チーム 主任研究員 |
| 関根 康一 |
株式会社ブイテックス 東海工場 設計部 主任技師 |
| 関根 尚 |
(元)助川電気工業株式会社 品質管理部 取締役部長 |
| 垰田 公司 |
アルバックテクノ株式会社 製品安全室 室長
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| 高岡 毅 |
東北大学
多元物質科学研究所 講師 |
| 鷹野 一朗 |
工学院大学 工学部 電気電子工学科 教授
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| 高橋 直 |
公益財団法人
高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員 |
| 髙橋 大 |
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 環境試験技術ユニット 研究開発員
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| 髙橋 直樹 |
アトナープ株式会社 上級アプリケーションエンジニア
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| 田川 雅人 |
神戸大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 准教授
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| 滝川 浩史 |
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 教授
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| 田中 智成 |
株式会社アルバック 技術開発部 真空要素技術開発部 部長
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| 谷本 育律 |
大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 准教授
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| 玉川 孝一 |
(元)株式会社アルバック |
| 多持隆一郎 |
株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム営業本部 本部長付
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| 蔡 徳七 |
大阪大学 大学院理化学研究科 化学専攻 講師
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| 筑根 敦弘 |
大陽日酸株式会社 開発本部 事業開発統括部 専門部長
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| 坪川 徹也 |
株式会社島津製作所 産業機械事業部 ＴＭＰ技術グループ グループ長
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| 寺岡 有殿 |
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学研究部門
関西光科学研究所 放射光科学研究センター 上席研究員 |
| 研谷昌一郎 |
(元)アルバック・クライオ株式会社 京都低温技術開発センター 専門室長
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| 土佐 正弘 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 構造材料研究拠点 接合・造型分野
トライボロジーグループ グループリーダー |
| 中川 究也 |
京都大学
工学研究科 科学工学専攻 准教授 |
| 中沢 正彦 |
(元)株式会社フジキン 東京技術研究所長 (現)ジーエフ設計 代表 |
| 中嶋 敦 |
慶應義塾大学 理工学部 化学科 教授
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| 中嶋 薫 |
京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授
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| 那須 昭一 |
(故)(元)ウシオ電機株式会社 常務取締役
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| 長田 光彦 |
アズビル株式会社 藤沢テクノセンター 技術開発本部 商品開発部
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| 中村 健 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター
分析計測標準研究部門 ナノ分光計測研究グループ長 |
| 中村 誠 |
株式会社富士通研究所 デジタルアニーラプロジェクト |
| 西川 博昭 |
近畿大学 生物理工学部 医用工学科 教授
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| 西川 正晃 |
ウシオ電機株式会社 光源事業部 技術部門 第三技術部
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| 西田 哲 |
岐阜大学 工学部 機械工学科 准教授
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| 西村 健一 |
キヤノンアネルバ株式会社 生産技術部 生産技術課
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| 長谷川繁彦 |
大阪大学 産業科学研究所 第１研究部門（情報・量子科学系）准教授
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| 長谷川修司 |
東京大学 大学院理学系研究科 物理学専攻 教授
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| 花井 正博 |
多田電機株式会社 応用機工場 営業部 営業第二課
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| 花岡 隆 |
樫山工業株式会社 技術本部 第一技術開発部 副部長 |
| 羽深 等 |
横浜国立大学 大学院工学研究院 機能の創生部門 教授
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| 早坂 孝宏 |
北海道大学 大学院医学研究院 消化器外科学教室Ⅰ 特任助教
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| 林 広司 |
株式会社島津製作所 分析計測事業部 X線/表面ビジネスユニット プロダクトマネージャー
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| 東堤 秀明 |
株式会社パスカル 取締役会長 |
| 樋口 誠司 |
株式会社堀場製作所 開発本部 第２製品開発センター 科学・半導体開発部 マネージャー
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| 備前 輝彦 |
公益財団法人
高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員 |
| 深津 晋 |
東京大学 大学院総合文化研究科 広域科学専攻 教授 |
| 福田 常男 |
大阪市立大学 大学院工学研究科 電子情報系専攻 准教授
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| 藤井麻樹子 |
横浜国立大学 大学院環境情報研究院 自然環境と情報部門 講師
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| 細見 博 |
共和真空技術株式会社
取締役技術本部長 |
| 堀尾 吉已 |
大同大学 工学部 電気電子工学科 教授
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| 本間 健二 |
兵庫県立大学 大学院物質理学研究科 物質科学専攻 特任教授
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| 本間 芳和 |
東京理科大学 理学部第一部 物理学科 教授
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| 町田 英明 |
気相成長株式会社 代表取締役 |
| 松浦 徹也 |
一般社団法人
東京環境経営研究所 理事長 |
| 松尾 二郎 |
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター 准教授
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| 松田 真一 |
樫山工業株式会社 技術本部 第二技術開発部 副部長
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| 松田 武志 |
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 筑波宇宙センター管理部 主任
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| 松本 信彦 |
東京電子株式会社 真空技術部 部長
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| 松本 祐司 |
東北大学 大学院工学研究科 応用化学専攻 教授
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| 松本 善和 |
日本ブッシュ株式会社 テクニカルサービス本部 副本部長
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| 三浦 豊 |
株式会社アルバック 技術開発部 解析・分析センター 部長
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| 源 浩 |
入江工研株式会社 四国事業所 中山工場 技術グループ グループ長 |
| 三宅 雅人 |
奈良先端科学技術大学院大学 研究推進機構
准教授 |
| 村山 吉信 |
アルバック・クライオ株式会社 技術本部 第一技術部 部長
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| 百瀬 健 |
東京大学 大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 講師
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| 森 研人 |
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 有人宇宙技術部門 宇宙飛行士・運用管制ユニット
研究開発員 |
| 森 伸介 |
東京工業大学 物質理工学院 応用化学系 准教授
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| 森山 孝男 |
株式会社リガク Ｘ線機器事業部
SBU WDX 大阪分析センター グループマネージャー |
| 安江 常夫 |
大阪電気通信大学 工学部 基礎工学科 教授
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| 矢部 学 |
入江工研株式会社 テクニカルセンター 開発グループ グループ長
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| 山田 洋一 |
筑波大学 数理物理系 准教授
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| 山野 英樹 |
芝浦エレテック株式会社 新規事業開拓推進センター 主幹 |
| 湯山 純平 |
(元)株式会社アルバック
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| 横田久美子 |
神戸大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 助手 |
| 吉川 保 |
有限会社フェイス 代表取締役
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| 吉田 肇 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 工学計測標準研究部門
圧力真空標準研究グループ 主任研究員 |
| 吉田 素朗 |
株式会社大阪真空機器製作所 名張工場 開発部
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| (故)渡辺 文夫 |
有限会社真空実験室 代表取締役
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