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【講座の趣旨】
本講演では、銀焼成接合部の信頼性設計において不可欠となる「機械特性評価」を軸とした設計フローを詳細に解説します。材料単体の応力ひずみ特性から、FEA(有限要素法)を用いたダメージ試算、さらには「九点曲げ試験」や「薄膜継手引張試験」といった評価技術を用いたパッケージ構造での劣化メカニズムまで、理論と実証の両面からアプローチします。
1.大電力パッケージ構造と接合材について
1.1 銀焼成接合の優位性
1.2 接合プロセス
1.3 無加圧銀焼成 vs 加圧銀焼成
2.熱信頼性試験の概要と評価方法
2.1 熱信頼性試験の概要
2.2 信頼性設計フロー
2.3 熱信頼試験代替手法(九点曲げ試験)
3.加圧銀焼成接合劣化評価 (樹脂封止なし)
3.1 応力ひずみ線図
3.2 FEAによるダメージ度試算
3.3 ダメージパラメータ vs 接合劣化率
4.パッケージ構造での銀焼成接合劣化評価
4.1 界面破壊⇒凝集破壊加速
4.2 界面強度評価技術 (薄膜継手引張試験技術)
4.3 パッケージ熱信頼性評価と破壊メカニズム
【質疑応答】
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