| 月刊 Electronics
Stage ２０２５年１１月号 |
＜特集1＞リソグラフィ技術の開発動向と材料，プロセスの開発
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EUVリソグラフィの技術動向と応用事例，
課題
東京大学 藤原 弘和
レジスト材料の技術動向と不良， 欠陥対策
Eリソリサーチ 遠藤 政孝
半導体量産露光機用ハイパワーEUV 光源の現状と今後の展望
九州大学 溝口 計
半導体製造用ナノインプリントリソグラフィにおける欠陥低減技術
キヤノン(株) 伊藤 俊樹
誘導自己組織化リソグラフィへ向けたブロックコポリマーの重合技術
(株)堀場エステック 濵口 隆彰
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＜特集2＞低誘電樹脂の開発動向と高周波・高速通信への応用展開
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半導体パッケージの技術動向とエポキシ樹脂封止材の低応力化設計
NBリサーチ 野村 和宏
エポキシ樹脂の誘電率を予測する機械学習モデルの構築と低誘電モノマーの構造探索
積水化学工業(株) 川浪 悠子
低誘電・高密着ポリイミド樹脂「PIAD®」の低伝送損失基板材料への応用
荒川化学工業(株) 中村 太陽
低誘電と密着性を両立する接着性フッ素樹脂の高周波基板応用
AGC(株) 森野 正行
低誘電， 低吸湿性PTFE／ポリイミド複合基板の開発
東洋紡(株) 土屋 俊之
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＜技術トピック＞
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ゲートオールアラウンド型酸化物半導体トランジスタの開発
東京大学 小林 正治
レーザー造形技術による酸化物系全固体ナトリウムイオン電池の開発
長岡技術科学大学 本間 剛 佐藤 史隆
パワーデバイス接合用フィルム状焼成材料の設計
リンテック(株) 市川 功
機械学習による導波路接続判定の自動化～高周波測定の精度と効率を革新する新技術～
(国研)産業技術総合研究所 坂巻 亮
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